Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge - 9781138600805
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Informazioni bibliografiche
- Titolo del Libro in lingua: Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge
- Lingua: English
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Autore:
Savinov V. P.
- Editore: CRC Pr I Llc
- Collana: CRC Pr I Llc (Hardcover)
- Data di Pubblicazione: 21 Maggio '18
- Genere: SCIENCE
- Pagine: 322
- Dimensioni mm: 234 x 155 x 0
- EAN-13: 9781138600805
