Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials - 9780471138273
Un libro in lingua di Steigerwald Joseph M. Murarka Shyam P. Gutmann Ronald J. edito da Vch Pub, 1997
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Informazioni bibliografiche
- Titolo del Libro in lingua: Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials
- Lingua: English
- Autori : Steigerwald Joseph M. Murarka Shyam P. Gutmann Ronald J.
- Editore: Vch Pub
- Collana: Vch Pub (Hardcover)
- Data di Pubblicazione: 01 Gennaio '97
- Genere: TECHNOLOGY and ENGINEERING
- Argomenti : Microelectronics Materials Grinding and polishing Chemical mechanical planarization
- Pagine: 324
- Dimensioni mm: 241 x 165 x 19
- EAN-13: 9780471138273